纳米直线电机NT・・・H

IKO纳米直线电机在钢制工作台部配置磁铁和光学线性编码器用光栅尺,钢制底座上配置定子线圈、线性编码器头等,是一款电磁式直线电机定位工作台。
工作台导向部采用在小形直线导轨设备领域赢得口碑的IKO交叉滚子直线导轨,直线电机搭配高分解能线性解码器,取得高精度的定位精度。
采用高性能钕磁铁,具备大推力,体型小的同时能实现高速高响应的定位精度。此外,采用划时代的无电缆驱动方式,机械性接触部分仅采用直线导向装置,实现了高清洁度。
纳米直线电机最适合用于半导体和液晶制造以及要求清洁环境的检验、电子元器件装配装置等设备的定位机构。

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产品特长

纳米直线电机NT・・・H 详细说明
出色的重复定位精度
工作台导向部采用滚子式“内置齿轨和齿轮形交叉滚子直线导轨”,实现了高刚性和对空气静压轴承无脉动地工作。移动过程中姿势变化极小,重复定位精度出色。
实现1μm以下的定位精度和行走平直度
彻底追求每一个构成零件的精度,精密装配,实现了1μm以下的定位精度和行走平直度。
高速度稳定性高
通过动作极顺畅的“内置齿轨和齿轮形交叉滚子直线导轨”与无心动磁式直线电机、高性能伺服驱动器的搭配,实现了高速度稳定性。(10mm/s移动时,±1%以下)

纳米直线电机®NT88H的基本规格

型号 高精度型 NT…H
NT88H25 NT88H65
型号及大小尺寸

截面形状

最大推力 N 25
25
额定推力 N
5 5
最大可搬质量 kg 5 5
有效行程长度 mm
25 65
分解能 μm 0.01 0.05 0.01 0.05
最高速度 mm/s
90 400 90 400
重复定位精度 μm ±0.1 ±0.1

IKO也有未录入产品目录的产品。另外,可根据客户的需求来开发新产品。如有需求欢迎咨询。