얼라이먼트 모듈AM

IKO얼라인먼트 모듈AM은 정밀 위치결정 테이블TU와 고강성형 크로스롤러베어링, 리니어웨이E를 조합하여 얼라인먼트 스테이지용으로 개발된 위치결정 모듈입니다. 높이 치수의 허용차를 ±10μm로 고정밀도 관리하고 있으므로 각 얼라인먼트 모듈의 높이를 조정하지 않고도 얼라인먼트 스테이지를 구성할 수 있습니다.

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제품 특징

제품 특징
동작을 실현하는 위치결정 모듈
위치결정 테이블TU를 기반으로 고강성형 크로스롤러베어링과 리니어웨이를 조합하여 얼라인먼트 스테이지용으로 개발된 위치결정 모듈입니다.
높이 조정 불필요
높이 치수의 허용차를 ±10μm로 고정밀도 관리하고 있습니다. 각 얼라인먼트 모듈AM의 높이를 조정하지 않고도 얼라인먼트 스테이지를 구성할 수 있습니다.
용도에 맞는 스테이지를 자유롭게 설계 가능
다양한 스테이지와 기반으로 얼라인먼트 모듈AM을 조합하여 용도에 맞는 얼라인먼트 스테이지를 자유롭게 설계할 수 있습니다.

얼라인먼트 스테이지의 구성 예와 동작 원리

얼라인먼트 스테이지의 구성 예와 동작 원리

제품구성

얼라인먼트 모듈AM
형상
형식
크기
스트로크

(mm)

반복 위치결정 정밀도

(mm)

W×L×H(mm)
AM25
86×130×47
30
±0.002
AM40
120×180×78
30
±0.002
AM60
220×290×110
90
±0.002
AM86
350×390×148
120
±0.002

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