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世界上最小的高精度三轴直线电机平台。

SA 特长

IKO直接驱动型校准工作台SA･･･DE的直线导向部使用IKO自润滑直线导轨L，旋转导向部使用IKO交叉滚子轴承，驱动部采用直接驱动方式，是一款低断面紧凑型做XYθ运动的校准工作台。 校准工作台SA･･･DE通过高分解能线性光栅尺搭配全闭环控制，实现了没有后移间隙的高精度定位。
最适合于用作半导体和液晶制造设备等利用图像处理进行校准处理以及要求清洁环境的测量仪器和检验设备等的定位机构。

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