洁净室用精密定位工作台TC | 公称型号

TC 特长

IKO洁净式精密定位工作台TC･･･E最适用于半导体、液晶关联制造装置等要求高清洁度环境。依靠独有的高密闭结构，对于驱动部分及滑动工作台的导向部都做了密封处理，防止其向工作台周围发尘。 依靠IKO洁净室用精密定位工作台TC･･･E内部的高密闭结构可实现洁净度CLASS 3。