나노리니어 NT･･･XZ | 치수

NT･･･XZ 특징

IKO나노리니어NT는 강제의 가동 테이블부에 마그네트와 광학식 리니어 엔코더용 스케일, 강제의 베드에 고정자 코일, 리니어 엔코더용 헤드 등을 배치한 무빙 마그네트 방식의 리니어 모터 테이블입니다.
테이블의 안내부에는 소형 직동안내기기 분야에서 정평이 있는 IKO리니어웨이를 사용하고 리니어 모터와 고분해능 리니어 엔코더를 조합시켜 더욱 고정밀도인 위치결정이 실현됩니다.
고성능 네오디뮴 자석을 채택하여 큰 추력을 얻을 수 있으므로 초소형임에도 불구하고 고속·고응답성의 위치결정이 가능합니다. 또한, 케이블이 없는 획기적인 구동 방식을 채택하여 기계적 접촉 부분은 직동안내기기뿐이므로 크린도가 높아집니다.
나노리니어NT는 반도체·액정 관련 제조장치나 크린 환경이 요구되는 검사장치 또는 전자부품 조립장치 등의 콤팩트한 위치결정 기구로 최적입니다.