사양

SA-DE 각 사양의 성능은 다음 표와 같습니다.

사양ㆍ성능

항목 호칭번호
SA65DE/1X SA65DE/5X SA120DE/1X SA120DE/5X SA200DE/1X SA200DE/5X
최대 추력(1 N 25 70 400(250)(8)
정격 추력(2 N 3.5 15(7 70
유효 스트로크 mm 10 20 20
최대 가반 질량 Kg 2.4 5.9 30.0(20.0)(8)
분해능 μm 0.1 0.5 0.1 0.5 0.1 0.5
최고 속도(3)(4) mm/s 270 500 270 800 270 800
반복 위치 결정 정밀도(5) μm ±0.5
가동부 질량 Kg 0.17 1.2 3.4
총 질량(6) Kg 0.35 2.5 7.2
사용 주위 온도ㆍ습도 0~40°C・20~80% RH(결로가 없을것)
주(1) 최대 추력의 지속 시간은 최대 1초 입니다.
 (2) 주위 온도 20°C, 금속제 상대물에 취부했을 경우 입니다.
 (3) 표시된 속도를 초과하는 경우 IKO에 문의해 주십시오.
 (4) 사용하는 컨트롤러의 최대 출력 주파수, 드라이버의 종류 및 설정에 따라 이 최고 속도에 도달하지 않는 경우도 있습니다.
 (5) 제품 본체의 온도가 일정한 경우 입니다.
 (6) 케이블 질량은 포함하지 않습니다.
 (7) 정격 추력은 유효 스트로크 범위 내에서 적용합니다.
 (8) ( )안의 값은 ADVA-R5ML 드라이버와 조합한 경우입니다 .

사양ㆍ성능

항목 호칭번호
SA65DE/S SA120DE/S SA200DE/S
최대 토크(1 N・m 0.5 2.0 8.0(6.0)(7)
정격 토크(2 N・m 0.06 0.4 2.0
최대 가반 질량 Kg 2.2 6.8 21.2(17.1)(7)
유효 동작 각도 50 60 280
분해능 0.64 0.36 0.25
pulse/도 5625 10000 14400
최고 속도(3)(4) 도/s 720 400 270
반복 위치 결정 정밀도(5) ±1.3 ±0.8 ±0.5
가동부 관성 모멘트 kg・m2 0.00012 0.002 0.013
총 질량(6) kg 0.5 2 6.0
사용 주위 온도ㆍ습도 0~40°C・20~80%RH(결로가 없을것)
주(1) 최대 토크의 지속 시간은 최대 1초 입니다.
 (2) 주위 온도 20°C, 금속제 상대물에 취부했을 경우 입니다.
 (3) 표시된 속도를 초과하는 경우 IKO에 문의해 주십시오.
 (4) 사용하는 컨트롤러의 최대 출력 주파수, 드라이버의 종류 및 설정에 따라 이 최고 속도에 도달하지 않는 경우도 있습니다.
 (5) 제품 본체의 온도가 일정한 경우 입니다.
 (6) 케이블 질량은 포함하지 않습니다.
 (7) ( )안의 값은 ADVA-R5ML 드라이버와 조합한 경우입니다 .

일부 제품은 카탈로그에 수록되어 있지 않습니다. 또한, 고객이 원하는 사양으로 변경도 가능합니다. 부담 없이 문의해 주시기 바랍니다.

SA 특징

IKO얼라이먼트스테이지 다이렉트 드라이브형 SA・・・DE는, 직선운동베어링에 IKO C-루브 리니어웨이 L을 사용하였고, 회전안내부는 IKO 크로스롤러베어링, 구동부는 직접구동방식 시스템을 각각 사용하였습니다. 얼라이먼트스테이지 는 낮은 단면과 콤팩트한 XYθ운동을 실현하였습니다. 고해상도 리니어 엔코더와 풀 클로즈드 루프 (full closed loop) 제어를 조합함으로써, 얼라이먼트스테이지 SA・・・DE가 백래시 없이 고정도의 위치결정 작동이 가능하게 되었습니다.
반도체나 액정 관련 제조장비와 같이 이미지 처리에 사용되는 정렬장치, 또는 깨끗한 환경이 요구되는 측정장치와 검사기기의 위치결정 기구로 최적입니다.

리니어 모터 구동 타입

볼스크류 구동 타입

테이블웜 기어 구동웜 타입

타이밍 벨트 구동 타입