SA 특징
IKO얼라이먼트스테이지 다이렉트 드라이브형 SA･･･DE는, 직선운동베어링에 IKO C-루브 리니어웨이 L을 사용하였고, 회전안내부는 IKO 크로스롤러베어링, 구동부는 직접구동방식 시스템을 각각 사용하였습니다. 얼라이먼트스테이지 는 낮은 단면과 콤팩트한 XYθ운동을 실현하였습니다.
고해상도 리니어 엔코더와 풀 클로즈드 루프 (full closed loop) 제어를 조합함으로써, 얼라이먼트스테이지 SA･･･DE가 백래시 없이 고정도의 위치결정 작동이 가능하게 되었습니다.
반도체나 액정 관련 제조장비와 같이 이미지 처리에 사용되는 정렬장치, 또는 깨끗한 환경이 요구되는 측정장치와 검사기기의 위치결정 기구로 최적입니다.
