ナノリニア® NT･･･XZ

IKOナノリニアNTは、鋼製の可動テーブル部にマグネットと光学式リニアエンコーダ用スケール、鋼製のベッドに固定子コイル、リニアエンコーダ用ヘッドなどを配置した、ムービングマグネット方式のリニアモータテーブルです。
テーブルの案内部には、小形直動案内機器の分野で定評のある IKO リニアウェイを使用し、リニアモータと高分解能リニアエンコーダの組合せにより高精度な位置決めを実現します。
高性能ネオジム磁石の採用により大きな推力が得られるため、極めて小形でありながら高速・高応答な位置決めが可能です。またケーブルのない画期的な駆動方式の採用により、機械的接触部分は直動案内機器のみなので、高いクリーン度を実現します。
ナノリニアNTは、半導体・液晶関連製造装置やクリーン環境が要求される検査装置や電子部品組立装置などのコンパクトな位置決め機構として最適です。