クリーン精密位置決めテーブルTC
IKOクリーン精密位置決めテーブルTC･･･Eは、半導体・液晶関連製造装置など、高いクリーン度が要求される環境下での使用に最適な位置決めテーブルです。独自の高気密構造により、駆動部分やスライドテーブルの案内部分を密封し、テーブル周囲への発じんを防ぎます。
IKOクリーン精密位置決めテーブルTC･･･Eは、テーブル内部の密閉性を高めた構造によりクリーン度クラス3を実現しています。
製品特長
クリーン精密位置決めテーブルTC･･･Eは、軽量・低断面・コンパクトな精密位置決めテーブルTEをベースに、ステンレスシート、サイドカバーにて、テーブル内部の密閉性を高めた構造でクリーン度クラス3に対応した位置決めテーブルです。送り機構に精密ボールねじを採用しており、高精度な位置決めが可能です。また、スライドテーブルと一体構造の直動案内部とボールねじに潤滑部品Cルーブを内蔵することで、長期メンテナンスフリーを実現しています。
1.クリーン度クラス3に対応!
| 耐食性に優れたステンレスシート、サイドカバーにより、駆動部分やスライドテーブル案内部を密閉。 IKO測定方法によるクリーン度評価において、クラス3を実現しています。 |
測定条件
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 測定機器 | パーティクルカウンタ |
| 測定部空気流速 | 2.5m/s |
| 測定空気量 | 28.3L（ 1cf） |
| 測定時間 | 48h（ 10min/回、1回/h） |
試験装置概略図
TC60E300 (ボールねじのリード：１０mm）
TC86E940 (ボールねじのリード：2０mm）
2.軽量・低断面・コンパクトサイズ!
主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用した軽量・コンパクトな位置決めテーブルです。 直動案内部とボールねじの最適設計により高さ寸法は、TC60Eで54mm、TC86Eで67mmの低断面を実現。 また、各種センサはサイドカバーのセンサ取付け溝に取り付ける構造になっており、省スペース化に貢献します。
3.高精度な位置決め!
IKO独自の直動案内技術と精密ボールねじの組合せにより、1ランク上の高精度な位置決めを実現します。
4.高耐食性!
主要構成部品は、アルマイト処理を施した高強度アルミニウム合金とステンレス鋼（ステンレスシート）を使用しており、 耐食性に優れています。
5.長期メンテナンスフリー!
直動案内部とボールねじに潤滑部品Cルーブを内蔵し、長期メンテナンスフリーを実現しています。給油工数の削減とともに、機械装置の信頼性が向上します。
掲載されている製品以外にも、お客様のご要望に合わせた特別仕様品の開発もいたします。まずはお気軽にお問い合わせください。
