クリーン精密位置決めテーブルTC

IKOクリーン精密位置決めテーブルTC・・・Eは、半導体・液晶関連製造装置など、高いクリーン度が要求される環境下での使用に最適な位置決めテーブルです。独自の高気密構造により、駆動部分やスライドテーブルの案内部分を密封し、テーブル周囲への発じんを防ぎます。
IKOクリーン精密位置決めテーブルTC・・・Eは、テーブル内部の密閉性を高めた構造によりクリーン度クラス3を実現しています。

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製品特長

IKO Cルーブ・メンテナンスフリーシリーズ
製品特長

クリーン精密位置決めテーブルTC・・・Eは、軽量・低断面・コンパクトな精密位置決めテーブルTEをベースに、ステンレスシート、サイドカバーにて、テーブル内部の密閉性を高めた構造でクリーン度クラス3に対応した位置決めテーブルです。送り機構に精密ボールねじを採用しており、高精度な位置決めが可能です。また、スライドテーブルと一体構造の直動案内部とボールねじに潤滑部品Cルーブを内蔵することで、長期メンテナンスフリーを実現しています。

1.クリーン度クラス3に対応!

耐食性に優れたステンレスシート、サイドカバーにより、駆動部分やスライドテーブル案内部を密閉。
IKO測定方法によるクリーン度評価において、クラス3を実現しています。

クリーン度の測定について

測定条件

項目 内容
測定機器 パーティクルカウンタ
測定部空気流速 2.5m/s
測定空気量 28.3L( 1cf)
測定時間 48h( 10min/回、1回/h)

試験装置概略図

測定環境

測定データ例 [ クリーン度クラスの上限濃度グラフ ]

TC60E300 (ボールねじのリード:10mm)

TC60E300

TC86E940 (ボールねじのリード:20mm)

TC86E940

2.軽量・低断面・コンパクトサイズ!

主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用した軽量・コンパクトな位置決めテーブルです。 直動案内部とボールねじの最適設計により高さ寸法は、TC60Eで54mm、TC86Eで67mmの低断面を実現。 また、各種センサはサイドカバーのセンサ取付け溝に取り付ける構造になっており、省スペース化に貢献します。

3.高精度な位置決め!

IKO独自の直動案内技術と精密ボールねじの組合せにより、1ランク上の高精度な位置決めを実現します。

4.高耐食性!

主要構成部品は、アルマイト処理を施した高強度アルミニウム合金とステンレス鋼(ステンレスシート)を使用しており、 耐食性に優れています。

5.長期メンテナンスフリー!

直動案内部とボールねじに潤滑部品Cルーブを内蔵し、長期メンテナンスフリーを実現しています。給油工数の削減とともに、機械装置の信頼性が向上します。

掲載されている製品以外にも、お客様のご要望に合わせた特別仕様品の開発もいたします。まずはお気軽にお問い合わせください。