精密昇降テーブルTZ

IKO精密昇降テーブルTZは、くさび機構を利用して、上下方向の精密位置決めを行うための昇降テーブルです。くさび機構には、各種産業機械で高い実績のあるIKO リニアウェイの技術をそのまま活用することで、高い精度と剛性をコンパクトなサイズで実現しています。高い精度を必要とする、半導体・液晶関連製造装置・光関連装置に最適です。

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製品特長

高精度・高剛性
くさび機構の案内部にローラタイプの直動案内機器CルーブリニアローラウェイスーパーXを2本並列に配置し、高精度な位置決めと1ランク上の剛性を実現しています。
高い位置決め精度
リニアエンコーダによるフルクローズドループ制御を行うことで、さらに高い位置決め精度を実現します。
メンテナンスフリー
直動案内機器とボールねじに潤滑部品Cルーブを内蔵することで、長期メンテナンスフリーを実現しています。
2つの減速比をシリーズ化
くさび減速比1:2、1:4の2種類をシリーズ化。用途に応じてスロトーク長さと分解能を選択できます。また最大ストローク24mmの上下方向の位置決めが可能です。
センサ標準装備
リミットセンサ、原点・原点前センサを標準装備。センサを本体内部にコンパクトに内蔵しているので、機械・装置への組込みが容易です。

ラインナップ

形式 テーブルの大きさ
[mm]
案内形式 くさび減速比 ストローク長さ
[mm]
TZ 120X-2 □120 ローラタイプ 1:2 10
TZ 120X-4 1:4 5
TZ 200H-2 □200 ボールタイプ 1:2 24
TZ 200H-4 1:4 12
TZ 200X-2 ローラタイプ 1:2 24
TZ 200X-4 1:4 12

掲載されている製品以外にも、お客様のご要望に合わせた特別仕様品の開発もいたします。まずはお気軽にお問い合わせください。