アライメントモジュールAM

IKOアライメントモジュールAMは、精密位置決めテーブルTUと、高剛性形クロスローラベアリング、リニアウェイEを組み合せて、アライメントステージ用に開発された位置決めモジュールです。 高さ寸法の許容差を±10μmと高精度に管理しているので、各アライメントモジュールの高さ調整をする事なくアライメントステージを構成できます。

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製品特長

2000クラスの大型ステージも対応!
多彩な動作を実現する位置決めモジュール
精密位置決めテーブルTUをベースに、高剛性形クロスローラベアリングとリニアウェイを組み合わせ、アライメントステージ用に開発された位置決めモジュールです。
高さ調整が不要
高さ寸法の許容差を±10μmと高精度に管理しています。
各アライメントモジュールAMの高さ調整することなく、アライメントステージが構成できます。
用途に合わせたステージを自由に設計可能
様々なステージとベースにアライメントモジュールAMを組合せ、用途に合わせたアライメントステージが自由に設計できます。

アライメントステージの構成例と動作原理

アラインメントステージの構成例と動作原理

ラインナップ

アライメントモジュールAM
形状
形式
大きさ
ストローク

(mm)

繰返し位置決め精度

(mm)

W×L×H(mm)
AM25
86×130×47
30
±0.002
AM40
120×180×78
30
±0.002
AM60
220×290×110
90
±0.002
AM86
350×390×148
120
±0.002

掲載されている製品以外にも、お客様のご要望に合わせた特別仕様品の開発もいたします。まずはお気軽にお問い合わせください。