電子部品の高速チップマウンタ

電子部品
高速チップマウンター　Z軸部
ナノリニアNT…V

採用箇所：
電子部品の高速チップマウンタのZ軸

採用形番

NT55V25/5L＋ボールスプラインLSAGT6
（吸着ノズル）

ユーザ様が求める位置決めステージの仕様
高い再現性と高速性を兼ね備えた位置決めステージ
  • 吸着ノズルを搭載し、高精度と薄型を両立していること
  • 位置決め時間0.05secで1.4mmストロークを満足すること
ナノリニアNT･･･Vで実現した性能
  • Z軸のステージサイズ：幅68mm×高さ41mm
  • 位置決め精度：±0.5μmを実現
  • 位置決め時間0.05sec以内で1.4mmのストロークを実現
特に、ここがポイント

位置決め時間0.05sec以内で1.4mmのストロークという高タクトを実現！
ナノリニアNT･･･Vは、高精度化・高タクト化を実現し、設置スペースの課題を解決します。

ワークの位置決め機構

半導体
位置決め機構のイメージ
ナノリニアNT38V

採用箇所：
露光されるワークの位置決め機構部

採用形番

NT38V18/5L

ユーザ様が求める位置決めステージの仕様
省スペースで高い姿勢精度
  • 限られたスペースに配置できるコンパクトな位置決めステージであること
  • 姿勢精度：25秒を満足すること
ナノリニアNT･･･Vで実現した性能
  • シリーズ最小サイズのNT38Vは、ステージの断面高さ：11mm　幅：38mmという超コンパクトなステージ
  • コンパクトなサイズでありながら、姿勢精度は25秒/ストローク10mmを実現
特に、ここがポイント

超コンパクトサイズでも姿勢精度は25秒/ストローク10mmを実現！
高精度を実現し、設置スペースの課題を解決します。

電子部品の検査装置

電子部品
電子部品検査イメージ
ナノリニアNT80V　XY二軸組合せ仕様

採用箇所：
電子部品を検査する装置の位置決めステージ部

採用形番

NT80V25/5LSC
（XY仕様の特殊品）

ユーザ様が求める位置決めステージの仕様
精度良い検査装置として、運動の直角度が高精度であること
  • 小型電子部品の検査装置であるため高精度かつコンパクトな位置決めステージであること
  • 運動の直角度が10μm以下であること
ナノリニアNT･･･Vで実現した性能
  • XYの2軸仕様においても低断面（断面高さ32mm）を実現
  • 運動の直角度は10μm以下　高分解能：0.1μmを実現
特に、ここがポイント

XYの2軸仕様でも低断面ながら運動の直角度10μm以下を実現！
ナノリニアNT･･･Vは、XY構成の位置決めステージに求められる課題を解決します。

通電検査装置

半導体
電子部品通電検査イメージ
ナノリニアNT80V　立軸仕様（スプリング方式）

採用箇所：
チップの通電検査装置の導通プローブ移動軸

採用形番

NT80V25/5LSC + 落下防止の
バネ付き特殊品

ユーザ様が求める位置決めステージの仕様
短時間で導通プローブをチップの端子にコンタクトする事
  • スペースが限られているためコンパクトなステージが必要
  • 立軸のため、ステージに設置する検査ヘッドが自重で落ちないこと
  • テーブルは、0.1秒以内に1mmストロークさせること
ナノリニアNT･･･Vで実現した性能
  • 断面高さ16mmという低断面を実現
  • テーブルにバネを取付けることで、検査ヘッドが自重で落ちない仕様を実現
  • テーブル動作は、0.1秒以内に1mmストロークさせることを実現
特に、ここがポイント

0.1秒以内にテーブルを1mmストロークさせる高タクトを実現！
ナノリニアNT･･･Vは、立軸の位置決めステージに求められる課題を解決します。

医療用画像分析装置

医療検査器
医療用画像処理装置イメージ
ナノリニアNT88H
※クリックで拡大表示
NT88Hの走行真直度

採用箇所：
細胞画像分析装置の検体移動軸

採用形番

NT88H65/01L

ユーザ様が求める位置決めステージの仕様
高品質の画像を撮影するため、優れた位置決め精度と走行真直度が必要
  • 高精度な位置決め精度であること
  • 優れた走行真直性であること
ナノリニアNT･･･Hで実現した性能
  • ナノリニアシリーズの中でも高精度仕様であるNT･･･Hをご提案
  • 繰り返し位置決め精度：±0.1μmを実現
  • 走行真直度：1μm以下 高分解能：0.01μmを実現
特に、ここがポイント

高精度な繰り返し位置決め精度、走行真直度を実現！
ナノリニアNT･･･Hを採用する事で高精度な動作が求められる箇所への課題を解決します。

さまざまな装置に使用いただいています

ディスプレイ、半導体関連　検査装置

リニアモータ駆動のXYユニットです。高精度なリニアモータテーブルが組み込まれたユニットは、精度が要求される装置に最適です。多軸構造もリニアモータテーブルを使用すれば簡単に構築することが可能です。

一般装置、FA関連　組立装置

リニアモータ駆動のXZユニットです。高精度なリニアモータテーブルが組み込まれたユニットは、精度が要求される装置に最適です。多軸構造もリニアモータテーブルを使用すれば簡単に構築することが可能です。

医療機器関連　アライメント装置

リニアモータ駆動のアライメント装置です。微細なアライメントの動作を求められる医療機器の検査装置には、高精度なリニアモータテーブルが組み込まれたユニットが最適です。多軸構造もリニアモータテーブルを使用すれば簡単に構築することが可能です。

特に、ここがポイント

当社の長年にわたる軸受製造ノウハウとそれを活かす位置決めステージ設計&組立技術により、
様々な特殊装置のご要望にお応えします。
まずは、にご相談ください。