寸法図

AM60の寸法図になります。

モータアタッチメントなし・ボールねじ付き

ボールねじなし

掲載されている製品以外にも、お客様のご要望に合わせた特別仕様品の開発もいたします。まずはお気軽にお問い合わせください。

AM特長

IKOアライメントモジュールAMは、精密位置決めテーブルTUと、高剛性形クロスローラベアリング、リニアウェイEを組み合せて、アライメントステージ用に開発された位置決めモジュールです。 高さ寸法の許容差を±10μmと高精度に管理しているので、各アライメントモジュールの高さ調整をする事なくアライメントステージを構成できます。

リニアモータ駆動タイプ

ボールねじ駆動タイプ

ウォームギア駆動タイプ

タイミングベルト駆動タイプ