寸法図

SA200DEの寸法図になります。

SA200DE/X

アライメントステージSA200DE/X

SA200DE/S

アライメントステージSA200DE/S

SA200DE/XY

アライメントステージSA200DE/XY

SA200DE/XS

アライメントステージSA200DE/XS

SA200DE/XYS

アライメントステージSA200DE/XYS

掲載されている製品以外にも、お客様のご要望に合わせた特別仕様品の開発もいたします。まずはお気軽にお問い合わせください。

SA特長

IKOアライメントステージSA・・・DE は、直動案内部にIKO CルーブリニアウェイL、回転案内部にIKOクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクト・ドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトな、XYθ運動を実現するアライメントステージです。 アライメントステージSA・・・DE は、高分解能リニアスケールと、フルクローズドループ制御の組み合わせにより、バックラッシのない高精度な位置決め動作を実現します。
半導体・液晶関連製造装置など、画像処理を利用したアライメント処理やクリーンな環境を要求される測定器や検査装置などの位置決め機構として最適です。

リニアモータ駆動タイプ

ボールねじ駆動タイプ

ウォームギア駆動タイプ

タイミングベルト駆動タイプ