寸法図

SA200DEの寸法図になります。

SA200DE/X

アライメントステージSA200DE/X
注(1 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。
備考 θテーブルの中心穴は貫通しています。

SA200DE/S、SA200DE/T

アライメントステージSA200DE/S
注(1 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。
注(2 SA200DE/T(無限回転仕様)にはリミットコードとメカストッパはありません。
注(3 SA200DE/S、SA200DE/Tいずれの仕様においても「S」の記号が入ります。
備考 ケーブル長さについてはSA200DE/XおよびSA200DE/Sの寸法表をご参照ください。
θテーブルの中心穴は貫通しています。

SA200DE/XY

アライメントステージSA200DE/XY
注(1 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。
備考 ケーブル長さについてはSA200DE/XおよびSA200DE/Sの寸法表をご参照ください。

SA200DE/XS、SA200DE/XT

アライメントステージSA200DE/XS
注(1 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。
注(2 SA200DE/T(無限回転仕様)にはリミットコードとメカストッパはありません。
注(3 SA200DE/S、SA200DE/Tいずれの仕様においても「S」の記号が入ります。
備考 ケーブル長さについてはSA200DE/XおよびSA200DE/Sの寸法表をご参照ください。
θテーブルの中心穴は貫通しています。

SA200DE/XYS、SA200DE/XYT

アライメントステージSA200DE/XYS
注(1 取付けねじのねじ込み深さが長すぎると可動テーブルの走行性能に悪影響を与えますので、ねじ穴深さより長いボルトを挿入しないでください。
備考 ケーブル長さについてはSA200DE/XおよびSA200DE/Sの寸法表をご参照ください。

掲載されている製品以外にも、お客様のご要望に合わせた特別仕様品の開発もいたします。まずはお気軽にお問い合わせください。

SA特長

IKOアライメントステージSA・・・DE は、直動案内部にIKO CルーブリニアウェイL、回転案内部にIKOクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクト・ドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトな、XYθ運動を実現するアライメントステージです。 アライメントステージSA・・・DE は、高分解能リニアスケールと、フルクローズドループ制御の組み合わせにより、バックラッシのない高精度な位置決め動作を実現します。
半導体・液晶関連製造装置など、画像処理を利用したアライメント処理やクリーンな環境を要求される測定器や検査装置などの位置決め機構として最適です。

リニアモータ駆動タイプ

ボールねじ駆動タイプ

ウォームギア駆動タイプ

タイミングベルト駆動タイプ