システム構成図

アライメントステージSAには専用ドライバとしてADVAとMR-J4の2シリーズが用意されており、使用するドライバによって、システム構成が異なります。
SA120DEのシステム構成を以下に示します。

ドライバADVAを使用したSA120DEのシステム構成

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No. 名称 呼び番号
エンコーダ中継コード
(2m)(1)
TAE20V4-EC02
パソコン接続ケーブル USB mini Bケーブル
お客様でご用意ください。
セットアップソフトウェア ProDriveNext
(株)日立産機システムのWebサイトよりダウンロードしてください。
I/Oコネクタ TAE20R5-CN(2)
電源コード お客様でご用意ください。
上位装置
I/Oコネクタ接続ケーブル
注(1) 特殊なコード長さについてはIKOにお問い合わせください。
 (2) I/OコネクタTAE20R5-CNは、スリーエムジャパン㈱製10150-3000PE(コネクタ)と10350-52F0-008(カバー)の組合せです。

ドライバADVA…ECを使用したSA120DEのシステム構成

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No. 名称 呼び番号
モータ中継コード
(2m)(1)
TAE20V4-EC02
パソコン接続ケーブル USB mini Bケーブル
お客様でご用意ください。
セットアップソフトウェア ProDriveNext
(株)日立産機システムのWebサイトよりダウンロードしてください。
I/Oコネクタ TAE20V5-CN(2)
Ethernetケーブル お客様でご用意ください。
電源コード
上位装置
I/Oコネクタ接続ケーブル
注(1) 特殊なコード長さについてはIKOにお問い合わせください。
 (2) I/OコネクタTAE20V5-CNは、スリーエムジャパン㈱製10120-3000PE(コネクタ)と10320-52F0-008(カバー)の組合せです。

ドライバMR-J4-10Bを使用したSA120DEのシステム構成(SSCNETⅢ/H対応)

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No. 名称 呼び番号
エンコーダ中継コード
(2m)(1)
TAE20V6-EC02
パソコン接続ケーブル(3m) MR-J3USBCBL3M
セットアップソフトウェア SW1DNC-MRC2-J
入出力接続用コネクタ MR-CCN1(2)
電源コード お客様でご用意ください。
上位装置(3)
SSCNETⅢ/H接続ケーブル
注(1) 特殊なコード長さについてはIKOにお問い合わせください。
 (2) 入出力接続用コネクタMR-CCN1は、スリーエムジャパン㈱製10120-3000PE(コネクタ)と10320-52F0-008(カバー)の組合せです。
 (3) 上位装置は三菱電機㈱製SSCNETⅢ/H対応のモーションコントローラ、位置決めユニット、DC24V電源となります。

掲載されている製品以外にも、お客様のご要望に合わせた特別仕様品の開発もいたします。まずはお気軽にお問い合わせください。

SA特長

IKOアライメントステージSA・・・DE は、直動案内部にIKO CルーブリニアウェイL、回転案内部にIKOクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクト・ドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトな、XYθ運動を実現するアライメントステージです。 アライメントステージSA・・・DE は、高分解能リニアスケールと、フルクローズドループ制御の組み合わせにより、バックラッシのない高精度な位置決め動作を実現します。
半導体・液晶関連製造装置など、画像処理を利用したアライメント処理やクリーンな環境を要求される測定器や検査装置などの位置決め機構として最適です。

リニアモータ駆動タイプ

ボールねじ駆動タイプ

ウォームギア駆動タイプ

タイミングベルト駆動タイプ