半導体製造分野では、微細な配線や回路が形成されるため、0.1〜1μm程度の粒子でも配線上に付着するとショートや断線、特性ばらつきの原因となり、歩留まりを大きく低下させます。クリーンルームは、これらの微粒子を抑制することで、製品の品質と信頼性を高めます。
医薬品や食品製造では、微生物や異物の混入によって汚染・変質・感染リスクが発生し、健康被害や製品の腐敗につながるため、クリーンルームによる厳格な衛生管理が求められます。

GMP（医薬品）、HACCP（食品）などの品質管理基準が定められており、クリーンルームの導入はこれらの基準遵守に貢献します。
クリーンな環境で製造された製品は、消費者や取引先からの信頼を高め、企業のブランドイメージ向上にもつながります。

1立方メートル（m3）あたりの空気中に含まれる粒子濃度に基づき、クラス1からクラス9までの9段階に分類されます。クラスの数字が小さいほど清浄度が高く、例えばクラス1は「0.1μm以上の粒子が1m3あたり10個以下」という非常に厳しい基準となっています。

半導体工場全体では、クラス5～7といった清浄度に設定されていることが多いです。半導体製造の中でも超微細な回路を扱う一部の特殊な工程では、さらに高いクラス3の環境が必要とされることもあります。

製品の安全性と品質保証のため、医薬品製造ではクラス5〜8、食品工場ではクラス6〜8が一般的です。特に無菌製剤の製造エリアではクラス5以上の高度なクリーン環境が必要です。
微生物汚染防止が最重要課題であり、GMPやHACCPなどの品質管理基準に準拠した運用が求められます。

高性能フィルター、空調設備、気流制御システム、特殊な壁材・床材などの導入には多額の設備投資が必要です。特に高い清浄度を求める場合、設備費は高額になります。
また、既存の工場に後付けで導入する場合、建物の構造やスペースの制約、配線・配管スペースの不足などから、改修工事が必要となり、費用が膨らむ可能性があります。

クリーンルームでは、一定の清浄度を維持するため、空調設備やFFU（ファンフィルターユニット）を長時間稼働させるケースが多くあります。そのため、電力消費が大きくなり、ランニングコストの多くを占めます。
また、HEPA/ULPAフィルターは、使用環境にもよりますが、3〜5年程度で定期的に交換が必要であり、これも高額なメンテナンスコストとなります。他にも、定期的な清掃、設備点検、作業員の教育訓練など、多岐にわたる費用が発生します。

過剰な清浄度設定を避け、必要な清浄度に絞ることで設備投資を抑えられます。
例えば、クリーンブースなどを活用した局所クリーン化を導入し、必要な作業エリアのみ清浄度を保つことで、設備規模や運用コストを削減できます。
また、省エネ型の設備導入やエネルギーマネジメントシステムの活用により、電力コストを削減できます。

作業者は専用の防塵服、帽子、マスク、手袋、靴カバーなどを着用し、肌の露出を最小限に抑え、入室前にはエアシャワーを浴びて付着物を除去します。室内では不要な会話や急激な動きを避け、作業手順を厳守することが求められます。
人体は最大の汚染源であるため、定期的な教育訓練により、作業者の意識向上と適切な行動の徹底を図る必要があります。

製品の品質や作業環境の快適性を保つため、温度（通常20〜25℃）と湿度（通常40〜60%RH）が厳密に管理されます。湿度が低すぎると静電気が発生しやすくなり、微粒子の製品への付着や電子回路の破損リスクが高まります。静電気対策として、イオナイザーの設置、導電性床材の使用、作業台や機器の接地などが効果的です。

クリーンルームは空気中の微粒子を除去できますが、自重で落下し堆積した異物は除去できません。そのため、専用の清掃道具を用いた定期的な清掃が不可欠です。
空調フィルターの性能チェックやパーティクルカウンターによる清浄度測定も定期的に実施し、異常を早期発見できる体制が必要です。

クリーン精密位置決めテーブルTCは、半導体・液晶関連装置など高清浄度が求められる環境向けの位置決めテーブルです。

ステンレスシートとサイドカバーにより駆動部・案内部を密閉し、内部空間からの空気吸引と組み合わせることで周囲への発塵を防ぎ、IKO独自の測定方法による評価でクリーン度クラス3を達成しています。また、内部にはクリーン環境用低発塵グリース CGL を封入し、摩擦部からの粒子発生も低減しています。

IKO精密位置決めテーブル TE の構造をベースに、高強度アルミニウム合金とステンレス鋼を採用することで、軽量かつ高い耐食性を実現しています。
高さ寸法は TC50EBで50ｍｍ、TC60EBで54mm、TC86EBで67mmと低断面であり、サイドカバーはセンサ取付け溝を一体化することで、省スペース化に寄与しています。

送り機構には精密ボールねじを採用し、IKOの直動案内機器との組み合わせにより高精度な位置決め性能を確保しています。
直動案内機器とボールねじには潤滑部品 Cルーブを内蔵しており、給油作業を大幅に削減するとともに、長期にわたるメンテナンスフリー運転と装置全体の信頼性向上及びメンテナンスコスト削減を実現しています。